カールツァイス

ZEISS Crossbeam 550 Samplefabは、高性能で堅牢な事前構成済みFIB-SEMです。これにより、半導体ラボにおいて完全自動化・無人運転によるTEM試料作製が可能になります。高品質の試料と優れた自動化信頼性を確保し、特に複数部位の試料作製において高いラメラ作製成功率を誇ります。柔軟性を損なわずに迅速なトレーニングと最適な効率を実現する、直感的なユーザーインターフェースをご活用ください。

１．使いやすいインターフェース
全体を通して初心者からエキスパートまで誰もが素早く学び直感的に操作できるよう再設計されており、シームレスに操作できます。強化されたコントロールソフトウェアは安定性と使いやすさを向上させ、操作プロセスをさらに効率化します。

２．自動化されたTEM用試料作製
ハンズフリーTEMラメラ作製プロセスでは、8時間以内に10個のラメラを作製し、貴重な時間とリソースを節約できます。独自のリフトアウト技術は優れた自動化率を実現するほか、様々な半導体の試料タイプで100nmまでの薄片化を可能にし、常に高品質な結果を提供します。

３．優れた自動化率
レシピベースの自動化は、オペレーターの介入がないバルク試料からTEMグリッドまでの自動ラメラ処理において、90%以上の自動化率を約束します。自動チェックにより人間の介入が可能になり、処理中にラメラが失われることなく、ラメラ作製成功率を100%に近づけることができます。

４．安定した効率的なワークフロー
ワークフローは非常に堅牢で、1本のプローブチップを使用して数十のラメラを作製できます。このプローブチップを何日も酷使した後でも、必要なのは再形成だけです。これにより、ツールの生産稼働時間が大幅に向上し、消耗品のコストが削減され、結果的に時間とコストの両方を節約できます。

ZEISS Sigmaファミリーは、電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）のテクノロジーと優れたユーザーエクスペリエンスを兼ね備えています。イメージングと解析ルーチンを構造化することで生産性が向上し、新しい材料、品質検査用の粒子試料、生物・地質試料などの観察に活用できます。妥協のない高分解能イメージングにより、1 kV以下の低加速電圧でも高い解像度とコントラストを達成します。さらに、クラス最高のEDSジオメトリを使用して高度な顕微鏡解析を実行し、より正確な解析データを2倍の速さで取得することができます。

・Sigma 360は、直感的な操作でイメージングと解析ができる電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）としてコアイメージング施設から選ばれています。

・Sigma 560は、クラス最高のEDSジオメトリによりハイスループット解析を実現し、in situ実験の自動化を可能にします。

ZEISS VersaXRM 730：優れた分解能とパフォーマンス
✓450nmの空間分解能と性能
✓ユーザー中心設計のZEN navxガイド・制御
✓1分トモグラフィーとエンドツーエンド３D

ZEISS VersaXRM 615：高速サブミクロンイメージング
✓500nmの空間分解能とRaaD機能
✓高速起動の25w密閉管光源
✓FASTモードと搭載したFPX

ZEISS Xradia 515 Versa：柔軟性と使いやすさ
✓500nmの空間分解能
✓40nmの最小ボクセル