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静電チャックで製造技術の壁を突破する 筑波精工㈱ のブースにようこそ
本展示では、パワー半導体やMEMS向け、薄化により製造を著しく困難にする「反り」や、「クラック発生」を対策、また 既存設備にて異なるサイズを投入する際のサイズ変換治具ツールとしてご利用いただける Supporter®をご紹介いたします。
また、真空装置内で吸着が難しい絶縁体材料の固定や機種替えフリーを実現する 設備向け静電チャックThin Hand、 どこでも 気軽にご利用できるハンディタイプ静電チャック Soft Palmをご紹介いたします。
会場でのデモンストレーション体験が可能です。お気軽にご来場ください。
パワー半導体、MEMS、HBMなど薄化されたウェハの反り矯正、強度補強用に
ご利用いただけるキャリア型静電チャックです。
真空 プラズマ 200℃以下の環境で運用可能です。
サイズ変換 厚み調整用として既存設備でご利用可能です。
面吸着のため薄いウェハにストレスをかけず取扱いが可能です。
電池 ACコード両方対応のため状況に併せてコードレス運用も可能です。
吸着が難しいとされている高抵抗基板(ガラス サファイア 水晶 LT LN)吸着が可能です。
ポリイミド静電チャックのため カスタマイズ対応可能です。