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テクメイション

中央区新富,  東京都 
Japan
http://www.techmation.co.jp
  • 小間番号W1350

弊社は半導体に関連するガスおよび流体の制御機器を取り扱う専門技術商社です。

今回の展示会では世界的に実績のある下記3つのメーカーの製品をご紹介いたします。

■TESCOM社 圧力調整器

 ・ガスボックス&ガスキャビネット向け、低コスト版小型、集積式レギュレーター

 ・ワールドワイドな実績と信頼を頂くTESCOM製品の豊富な製品ラインナップの数々

 ・部品の内製化や組み立て工程の自動化など、生産設備増強に伴う短納期製品

■Mott社 焼結金属製品(フィルター、ディフューザー、流量調整器など)

 ・1.5nm 9LRV捕獲性能を実現した、小流量から大流量(15000Nm3/h)向けの高捕獲性能フィルター

 ・独特な焼結技術により低圧損を実現

 ・豊富な材料対応(ステンレス、ハステロイ、チタン、セラミックス等)

■Precision sensor社 各種センサー・スイッチ(圧力スイッチ、圧力モニター、フロースイッチなど)

 ・国際安全規格取得品ーーISO13849-1/IEC61508, UL991/508, Ple, SIL3

 ・大手装置メーカー標準採用品多数

 ・腐食性ガス対応も可能

またこれらのメーカーはカスタマイズが得意で、「お客様の研究テーマや生産現場に則した機器及び問題解決の提案」を積極的に行っております。流体制御に関するご相談はぜひ弊社までお問い合わせください。


 出展製品

  • TESCOM 64-2600 series
    TESCOM 64-2600seriesはフックアップ、ガスキャビネット、VMB/P対応のコンパクトな減圧弁です。流路部分からテフロンのフリクションスリーブを排除し、金属表面粗度はRa0.26μm以下に仕上げられ高純度流体の圧力調整に適しています。...

  • <主な仕様>

    最高入口圧力 24.1MPa(高圧タイプ)        
    4.1MPa  (低圧タイプ)
    二次側調整圧力 ~0.21MPa
    ~0.41MPa
    ~0.69MPa
    ~1.72MPa
    ~3.44MPa(オプション)
    Cv値 0.06(高圧タイプ)
    0.15(低圧タイプ)
    材質 ボディ・・・・・・316L SST
    ダイヤフラム・・・316 SST
    シート・・・・・・PCTFE/PTFE/Vespel
    その他接ガス部・・316 SST
  • TESCOM 10 series
    TESCOM 10seriesは、フリーポペット構造を採用した低コスト版の小型減圧弁です。IGS/VCR接続、卓越したドループ性/クリープ性/再現性に、ハイフロー仕様も兼ね備えるなど高純度向けガスボックス、ガスキャビネットに適しています。...

  • <主な仕様>

    最高入口圧力 1.03MPa         
    二次側調整圧力 ~0.21MPa
    ~0.41MPa
    ~0.69MPa(オプション)
    Cv値 0.06(標準型)
    0.1(ハイフロー型)
    材質 ボディ・・・・・・316L VAR SST
    ダイヤフラム・・・ハステロイ
    シート・・・・・・PCTFE/PTFE
    バルブステム・・・ハステロイ
    スプリング・・316SST/インコネル
    その他接ガス部・・316L SST

  • Mott 高純度向けフィルター
    半導体製造装置に使用する業界トップクラスの性能を実現したフィルター...

  • ・Mott社独自の製法により低圧損かつ1.5nm 9LRV捕獲性能を実現

    ・小流量から大流量(15000Nm3/h)まで対応した製品ラインナップ

    ・多種多様化する次世代プロセスに対応

    ・新製品 - 集積ガスパネル向けサンドウイッチフィルター

  • Mott フローリストリクター
    お客様の要求仕様、使用環境に合わせたカスタマイズ流体制御機器...

  • ・焼結金属を用いた流量調整器
  • Precision sensor 圧力センサー、圧力スイッチ、圧力モニター、フロースイッチ
    半導体関連装置の運用・安全管理に必須の各種センサー・スイッチ機器...

  • ・国際安全規格取得品ーーISO13849-1/IEC61508, UL991/508, 
                                                         Ple, SIL3  SEMI S-2
    ・大手装置メーカー標準採用品多数
    ・腐食性ガス対応微差圧モニター
    ・新製品
               ー微差圧モニター(エコライン)25Pa対応、
                    LPSモデル:正負差圧対応品
               ー圧力センサー、圧力スイッチ、表示一体型モデル:Staset小型化,
                   高温200度C対応
              ーPitot Tube+差圧モニター