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”はかる”技術で未来を創る、技術革新を支える最先端計測ソリューションプロバイダーのブースへようこそ。
東陽テクニカは、“はかる”技術のリーディングカンパニーとして、最先端の計測ソリューションを国内外の産業界に提供しています。
本展では、「振動計測」、「モーダル解析」をテーマに、ナノスケールに対応した最先端の"はかる”技術をご紹介いたします。
1.振動計測
半導体製造の各工程において、装置の挙動を把握することが求められています。また、微細化が進む中、装置またはウェーハでの変位や振動を計測する必要性は増しています。そのような要求に応えるため、当社が提供する加速度センサは、高精度かつ高分解能での検出が可能で、多くの半導体製造装置で活用されています。センシングだけでなく、その計測および解析・モニタリングにも力を入れており、これらの機器を展示しています。
2.形態、結晶方位、結晶構造、歪といった材料特性のナノスケール・マルチモーダル解析
デバイスの電気的性能は、デバイス各層の結晶相の種類と分布、または局所的な歪に依存するため、これらの物理分析はプロセス開発、歩留り向上に重要になります。4D-STEM法（4次元走査透過電子顕微鏡法）を用いることでこれら解析が可能になりますが、セットアップの複雑さや、電子ビームのプリセッション、ブランキング、検出器の信号読出しとの同期、ソフトウェア間のデータ移動の制約によるデータ解析の遅延等、複数のコンポーネントによって構成されることに起因する課題によって、従来機では容易に実施することが出来ませんでした。今回提案するTESCAN社の4D-STEMシステム、モデル名TENSORは、リアルタイムデータ処理に必要なすべてのハードウェアと最適化アルゴリズムを完全に統合しており、最小限の設定と操作で4D-STEMデータセットを迅速に取得できる世界初の専用4D-STEMシステムです。