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日東工器(株)

大田区,  東京都 
Japan
https://www.nitto-kohki.co.jp/
  • 小間番号W1131


主に半導体製造工程で使用する迅速流体継手「カプラ」を出展いたします。薬液の腐食に強い各種材質の製品を取り揃えています。

迅速流体継手「カプラ」は、空気。水・油・薬液など様々な流体の配管を素早く接続・切り離しできる製品です。

今回、半導体製造装置向けで使用可能な製品を中心に出展いたします。

①セミコンカプラ SCAL型・・・本体材質に四ふっ化エチレン樹脂(PTFE)を採用

②セミコンカプラ SCT型・・・本体材質に四ふっ化エチレン樹脂(PTFE)を採用

③セミコンカプラSP型・・・本体材質にステンレス鋼を採用、シール材にゴムを使用した汎用型。電解研磨処理を施して耐食性が向上

④大口径ゼロスピルカプラ・・・大流量、薬液搬送・プラント配管用

⑤SP-A型 ステンレス・・・ソケット・プラグに自動開閉バルブ内蔵の中圧用途向け。

⑥ハイフローカプラ ステンレス・・・圧力損失を抑え、流量がアップ。

⑦ゼロスピルカプラ・・・「液だれ低減バルブ構造」で接続。分離時の空気混入量と液だれ量を大幅低減。


 出展製品

  • 「セミコンカプラ」🄬 SCAL型
    半導体製造設備向け高純度薬液用途。...

  • 本体材質に四ふっ化エチレン樹脂(PTFE)を採用。

    【主な特長】

    ●独自の液だれ低減構造によって薬液の無駄を減少。

    ●ソケット、プラグともに自動開閉バルブを備えており、分離した際、配管内の液体は外部へ流出しません。

    ●接液部に金属部品を使用しておりません。

    ●プラグ・ソケットの接続は、押し込むだけのワンタッチ接続。

    ●タンクへの充てん作業を考慮し操作しやすいソケット形状。

    ●各部品は全て洗浄し、クリーンルーム内で組立て、検査及び包装を行っております。

    ●プラグの接続に段を設けることで、分離時に液が容器に垂れるのを防ぎ、拭き取りが容易です。

     また、不意な落下などの際もシール部を保護します。

    ●誤接続防止のため、キーリング付き(受注生産品)も承ります。

    ●プラグにはキャップ(HDPE製)が標準装備されています。

  • 「セミコンカプラ」🄬 SCT型
    半導体製造設備向け、高純度薬品用途。...

  • 本体材質に四ふっ化エチレン樹脂(PTFE)を採用。

    【主な特長】

    ●ソケット、プラグともに自動開閉バルブを備えており、分離した際、配管内の液体は外部へ流出しません。

    ●接液部に金属部品を使用しておりません。

    ●各部品は全て洗浄し、クリーンルーム内で組立て、検査及び包装を行っております。

    ●サイズのバリエーションが豊富で、ご希望の用途・流量に合わせて選定することができます。

    ●誤接続防止のため、キーリング付き(受注生産品)も承ります。

    ●プラグにはキャップが標準装備されています(SCT-2P、SCT-2P-NPT、SCT-8P、SCT-8P-NPTを除く)

  • 「セミコンカプラ」🄬 SP型
    半導体製造設備向け高純度薬液用途。...

  • 本体材質にステンレス鋼を採用、シール材にゴムを使用した汎用型。

    電解研磨処理を施して耐食性が向上。

    【主な特長】

    ●本体及びスプリングに、ステンレス鋼(SUS304)を採用。

     さらに電解研磨処理を施して耐食性能を高めています。

    ●シール材は流体・用途に合わせて選択自在。半導体製造工程にフレキシブルに対応します。

    ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを塗布しておりません。

    ●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に合わせて選択することができます。

    ●各部品は全て洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査および包装を行っております。

    ●プラグにはキャップが標準装備されています。

    ●SUS316製は受注生産品として承ります。

  • 「大口径ゼロスピルカプラ」
    薬液搬送、プラント配管に液だれ低減「カプラ」...

  • 【主な特長】

    ●プラグ・ソケットの接続・分離とハンドルによるバルブ開閉操作を分けた2アクション構造。
    ●ノーグリスでも操作が容易
     ・ワンタッチ接続で作業性アップ
     ・ハンドルロック・分離防止機構

    ●プラグ・ソケットのねじサイズは、G1 1/2

    ●ねじ変換アダプタを使用することで、G1 1/4に変換可能

  • 「ハイフローカプラ」 フランジ固定型
    溶接・フランジ・ニップル不要 各種製造装置に直接取付け...

  • 【主な特長】

    ●ひし形のフランジ形状のため、狭い間隔で取付可能

    ●プラグ・ソケットの両方に自動開閉バルブ内蔵

    ●冷却効果を高める大流量タイプ

    ●冷却配管をスピーディに接続・分離

    ●コンパうとな省スペース設計(接続長・当社比最大22%減)

    ●設置・メンテナンスが短時間でOK