EL-FLOW Prestigeはガスコンバージョン機能に対応しており、お客様ご自身で選択頂ける約100種のガスデータを内蔵しております。
お客様のプロセス環境に適合する高性能マスフローメータ / コントローラ
N2ベースの流量レンジは以下の通りです。
最小レンジ 0.014...0.7 mln/min
最大レンジ 2...100 ln/min
PN100 マスフローメータ(Pは圧力センサ搭載・圧力補正機能付き)
モデルFG-110C(最小レンジ 0.014...0.7 mln/min~最大レンジ0.18...9 mln/min)
モデルFG-110CP(最小レンジ 0.014...0.7 mln/min~最大レンジ0.18...9 mln/min)
モデルFG-111B(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-111BP(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-111AC(最小レンジ 0.4...20 ln/min~最大レンジ2...100 ln/min)
PN10 マスフローコントローラ(Pは圧力センサ搭載・圧力補正機能付き、Sはシャットオフバルブ付き)
モデルFG-200CVP(最小レンジ 0.014...0.7 mln/min~最大レンジ0.18...9 mln/min)
モデルFG-201CVP(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-201CS(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-201CSP(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
PN100 マスフローコントローラ(Pは圧力センサ搭載・圧力補正機能付き)
モデルFG-210CV(最小レンジ 0.014...0.7 mln/min~最大レンジ0.18...9 mln/min)
モデルFG-210CVP(最小レンジ 0.014...0.7 mln/min~最大レンジ0.18...9 mln/min)
モデルFG-211CV(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-211CVP(最小レンジ 0.14...7 mln/min~最大レンジ0.4...20 ln/min)
モデルFG-211AV(最小レンジ 0.4...20 ln/min~最大レンジ2...100 ln/min)