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私達株式会社ジェイ・イー・ティは、半導体洗浄装置の開発、製造、販売、アフターフォローを行っている半導体製造装置メーカーです。
これまでは、バッチ式洗浄装置を、主に製造・販売しておりましたが、今回は、ジェイ・イー・ティ独自のヒーター技術を使った、硫酸&過水を使用せずにレジスト剥離できる枚葉式装置を、紹介します。