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JSR

Minato-ku,  Tokyo 
Japan
http://www.jsr.co.jp
  • 小間番号S1218

JSRは優れたテクノロジーで社会に貢献し、半導体製造に欠かせない材料を幅広く提供しています。

リソグラフィー材料ではi線、KrF、ArFドライ・液浸、EUVレジストおよび下層膜やSOGを展開しています。特に最先端のEUVでは、化学増幅型(CAR)に加えメタルオキサイド(MOR)も手掛けています。さらに、高い平坦化と低スクラッチ性を実現するスラリー、残渣除去用Post CMP洗浄剤、微細配線対応の機能性洗浄剤、高密度化実装に対応するめっき用厚膜フォトレジストや感光性絶縁膜などを提供しています。また、2024年にはヤマナカヒューテック㈱をグループに迎え、CVD/ALDプリカーサーも製品群に追加。ポートフォリオを拡大し、デバイスの製造プロセス全体で幅広いソリューションを提供しています。

これら材料は、「Materials Innovation」の理念の下、革新的材料を開発・提供し、半導体の微細化や高集積化の進展に寄与しています。三重県四日市の精密電子開発センターを中核に、機能・高品質な製品を生み出す「事業研究」と、次々世代の社会変革を視野に入れた研究や、分析などの研究基盤を担う「コーポレート研究」の両輪で取り組みを進めています。さらに、長年培ったシミュレーションやマテリアルズ・インフォマティクス(MI)等のデジタル技術、オープンイノベーションを活用し、物理や情報科学を取り入れて次世代研究を推進。高度化する市場ニーズに応え、社会へソリューションを提供しています。