①真空環境用XYテーブル
真空・クリーン環境が必須の半導体製造、電子ビームリソグラフィ、表面分析、宇宙関連研究に向けた高精度XYテーブルです。NSK独自の材料・表面処理・潤滑の技術により、低アウトガスと長期安定を実現します。モータを大気側に配置できる機械構造で、発熱の影響を抑えつつモータ選定の自由度を確保します。周辺部材の適合選定や実装ディテールにも配慮し、立ち上げ時のコンタミリスクを低減します。
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②ハイブリッドXYテーブル
転がり案内（ステップ軸）と空気静圧案内（スキャン軸）を機械的に統合したNSK独自のハイブリッド構造で、高剛性と超精密位置決めを両立します。2つの案内技術を自社で保有するNSKの強みを活かし、剛性配分・支持配置・幾何精度を最適化します。広ストロークでも高い真直性となめらかな走行を維持し、スキャン系の安定性に貢献します。ユーザの用途に応じた機械設計カスタマイズにも対応します。
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③高精度アライメントテーブル
半導体製造・光学デバイス加工・精密計測などで求められるサブミクロンクラスの位置決め精度を、機械構造で確実に支えます。くさび機構を核とした高剛性フレームにNSKの高精度ボールねじ／リニアガイドを組み合わせ、微小オフセットに強い再現性を確保。予圧・支持スパン・構造対称の最適化により、整定の早さと安定性を両立します。据付け面や結合部の剛性まで見据えた設計で、生産工程での高いスループットに貢献します。