RF電源、マッチングボックスについてご要望があれば、パール工業へご相談下さい。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
RF回路から制御基板まで主要コンポーネントを自社設計しているため、部品のEOLにも迅速かつ柔軟に対応して生産継続が可能です。
コロナ禍で部品不足の際にも設計変更を実施しながら生産を継続。お客様から高く評価されました。
パール工業は半導体製造装置向けを中心に、プラズマ発生用の高周波電源及び
マッチングボックスをお客様の仕様に合わせて開発・製造をしております。
ダイナミックに変化する負荷に対してRFパワーをデリバリーするため、
高VSWR耐力と負荷変動に対する安定性を兼ね備えています。
負荷に応じて適応的に周波数を変化させることで反射電力を下げる周波数整合や、
RF出力を多段のパルス状に変調させるパルス電源等、高度なプロセスの実現に求められる機能を自社開発しご提供しております。
RF回路から制御基板まで主要コンポーネントを自社設計しているため、部品のEOLにも迅速かつ柔軟に対応して生産継続が可能です。
コロナ禍で部品不足の際にも設計変更を実施しながら生産を継続。お客様から高く評価されました。
2023年、創業から70周年を迎え、高周波電源・マッチングボックスの年間販売台数も1,600台を突破しました。
研究開発向けの少量試作品から月200台を超える量産まで柔軟に対応可能です。
皆様のお越しをお待ちしております。