浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
表面・内部の微細パーティクル/欠陥検出に最適なQPM光学モジュール
QPM（定量位相顕微鏡）光学モジュールは、微小な欠陥や凹凸を測定する光学モジュールです。弊社独自の技術により、筐体の小型軽量化と高速測定（高リアルタイム性）を実現しています。外観検査システムに組み込むことにより、インライン対応を可能にするとともに、トータルコスト低減にも貢献します。
従来の半導体ウェーハ表面の測定を行うモデルに加え、半導体内部の欠陥検出にも対応すべく、ガラスなどを対象とした可視光モデルと、可視光を透過しないSiなどを対象としたIRモデルの開発を進めています。
浜松ホトニクスが提供するブロードバンド光源
弊社は2024年にNKT Photonics社を買収しました。NKT Photonics社はフォトニック結晶ファイバーの製造技術を保有しており、その要素技術を活かしたレーザ製品群は、優れた特長により幅広い用途で使用されています。特に広波長範囲かつ高い指向性を持つスーパーコンティニューム光源（SuperK）は、微細化が進む半導体デバイスの高精度な計測・検査でのニーズの高まりに応えています。
また、2017年には高輝度なレーザ励起光源を保有するEnergetiq Technology社を買収しており、弊社のキセノンランプも含め、非常に広い波長範囲でのブロードバンド光源のラインアップを実現しました。
これにより、お客様のニーズに合った最適な光源の提案に加え、検出器を組み合わせたソリューション提案を推進してまいります。