半導体デバイス検査の未来を拓く「光電検査プローブカード」「OTA(Over-The-Air)ミリ波検査装置」を展示します
本展示では、次世代の半導体検査ニーズに応える革新的なソリューションとして、「光電検査プローブカード」と「ミリ波帯アンテナインパッケージ（AIP）モジュール用OTA検査装置」をご紹介します。
■ 光電検査プローブカード
・光電検査プローブカードは、電気信号と光信号の両方を同時に扱えるハイブリッド型プローブカードです。
シリコンフォトニクスなどの光集積回路（PIC）において、グレーティングカプラ（GC）への
高精度な光ファイバアライメントを実現し、従来の電気検査だけではなく光学特性の評価を可能にします。
・本プローブカードは、サブミクロン精度での光ファイバ位置合わせを実現するマイクロアクチュエータを
搭載し、多チャネルシングルモードファイバ(SMF)アレイによる多ポート同時測定にも対応します。
既存のウェハプローバーへ組み込める構造であり、量産検査への対応も視野に入れた構成となっています。
■ OTAミリ波検査装置
・OTA検査装置は、無線通信デバイスに対する非接触・空間伝送による信号評価を可能にする装置です。
・ミリ波帯域に対応した高周波設計と、レンズやディテクタとの組み合わせにより、
アンテナ放射特性の高精度な測定を実現します。
・小型化の実現により、装置レイアウトの柔軟性も高めました。
・信号品質（EVM、隣接チャネル漏洩、占有帯域、BERなど）の自動取得・解析・表示機能を備え、PC上での可視化にも対応。
さらに、SDR制御部との連携による自動化・高効率化も視野に入れた開発を推進中です。