フジキン

千代田区 外神田,  東京都 
Japan
http://www.fujikin.com
  • 小間番号S1703

フジキンは昨年に引き続き「SEMICON JAPAN」に出展いたします。

是非ご来場くださいますようお願い申し上げます。


 出展製品

  • IoTバルブ
    超小型IoTバルブ/高耐久IoTバルブ/高温・高耐久IoTバルブ(1.125Wバルブ)/高温・高耐久IoTバルブ(1.5Wバルブ)...

  • ■超小型IoTバルブ
    ・バルブの開閉をセンシング
    バルブ開でLED点灯+外部出力し、作動状態を監視
    ・小型センサ搭載
    コンパクトかつスタイリッシュなデザイン

    ■高耐久IoTバルブ
    ・バルブの開閉をセンシング
    バルブ開でLED点灯+外部出力し、作動状態を監視
    ・高耐久バルブにセンサ搭載
    安定したセンシング性能が可能

    ■高温・高耐久IoTバルブ(1.125Wバルブ)
    ・バルブの開閉をセンシング
    バルブ開でLED点灯+外部出力し、作動状態を監視
    ・高耐久バルブに高温対応センサ搭載
    安定したセンシング性能・高温にも対応

    ■高温・高耐久IoTバルブ(1.5Wバルブ)
    ・バルブの開閉をセンシング
    バルブ開でLED点灯+外部出力し、作動状態を監視
    ・高耐久バルブに高温対応センサ搭載
    安定したセンシング性能・高温にも対応

  • 高スループット型プロセスガス供給バルブ
    半導体製造におけるプロセスガスを高速に充填し、成膜プロセスによる膜厚の均一も実現することで、お客様の生産性向上に貢献できる製品です。...

  • 2025年 第22回"超"モノづくり部品大賞「機械 ・ロボット部品賞」受賞!
    ・バルブ内でのガスの流れやすさCv値を従来比2倍に向上
    ・Cv値調整機構の導入により製品ごとの機差を解消
    ・メンテナンスを容易な構造にしたことにより装置のダウンタイム最小化を実現
  • FCS(Flow Control System)シリーズ
    FCS(Flow Control System)シリーズでは、FCS-Pressure (圧力制御方式)と、FCS-Thermal (熱式流量センサ制御方式)の制御方法の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。 FCS-T1000MP/FCS-T1000Z/FCSP7300/FCSP8000...

  • ■FCS-T1000MP
    ・PI(Pressure Insensitive)機能搭載
    ・MGMR(マルチガス・マルチレンジ)機能
    ・耐食ハステロイセンサ搭載
    ・高流量精度

    ■FCS-T1000Z
    ・MGMR(マルチガス・マルチレンジ)機能
    ・耐食ハステロイセンサ搭載
    ・高流量精度

    ■FCSP7300
    ・供給圧のモニターが可能
    ・応答性500 msec以下
    ・マルチガス・マルチレンジ対応

    ■FCSP8000
    ・レンジアビリティ 1000:1
    ・流量精度±1.0 % S.P.保証を実現

  • 半導体ガス濃度計
    プロセスガスの濃度を高速・高精度に測定...

  • 2024年 第21回"超"モノづくり部品大賞「電気・電子部品賞」受賞!
    ・LED光源採用:測定光と参照光の2波長搭載
    ・小型:独自構造の測定セル(小型で必要光路長を確保)
    ・高温対応:常温から150℃まで対応のガスセル
    ・クリーンな測定セル:ステンレス部材のみで窓ユニットを気密化
    ・高速検出:10ms(EtherCAT通信)
    ・高精度:測定ガス種および使用圧力・温度などによる補正