我々の新技術を是非ブースにてご覧下さい。皆様のご来訪を心よりお待ちしております。
Holowayは独自のデジタルホログラフィ技術を応用した計測装置の開発を行う大学発スタートアップです。
干渉現象を利用した高精度な光波面の記録とデジタル処理による柔軟な伝搬計算により、
精度とスループットを両立する従来手法では困難だった新たな計測検査ソリューションを実現しました。
今回の展示では、新装置を用いた大面積計測デモンストレーションを実施します。
サンプルワークの計測ほか、ご持参いただいたワークの計測もご覧いただけます。
▮ 測定デモンストレーション内容
・【反射】12インチSiウエハ（As Slice /As Lap /After CMP）× 表面形状
・【透過】300mm角ガラス基板 × TTV
デジタルホログラフィによる革新的な計測の可能性を、是非その目でご覧ください。