非接触式センサーを用いた反りや薄膜測定装置、ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システムを展示します。
マーポス株式会社は、世界のものづくりのパートナーを目指すイタリアのマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 製造工程における機械加工中、加工後に使用する精密測定、検査及びプロセス管理システムを自動車・半導体・バイオメディカルなどさまざまな産業界へ提供しています。
主な展示品 ・ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システム ・非接触式高精度薄膜測定装置（インターフェロメトリ技術） ・非接触式高精度表面形状測定装置（クロマティックコンフォーカル技術） ・加工中ウェーハ厚さ制御向け接触／非接触式厚さ測定ゲージ（インターフェロメトリ技術）
エンジニアが技術的なご相談やテストのご要望を承ります。ブースへのご訪問お待ち申し上げております。
光波が測定対象ワークの異なる表面の接合面で反射し、戻された干渉によって層の厚さを計算します。
さまざまなタイプのワーク、ガラス、プラスチック、シリコンウェーハの厚さを加工中に制御することを目的とした製品です。赤外線光源により、不透明な物質でも測定できます。
高速処理ゲージでいかなるマシンにも接続でき、ワークの厚さを正確かつ迅速に制御できます。技術データの指定限度内であれば、ドライ環境やウェット環境でもフィクスチャーまたはマシン内で使用可能です。