半導体・液晶の次世代装置へ向けたレーザスケールの提案
・3次元計測システムに特化した新型Zセンサを出展します。新型Zセンサ２次元スケールシステムにより、省スペースで6DoF計測が実現します。
・全周で±0.1秒以内の高精度で角度を検出する非接触自己校正型ロータリエンコーダを出展します。装置校正用の基準器としても最適です。