三菱ケミカルが開発中の新規防音シートReso-Core™(レゾコア)を出展致します。Reso-Core™は音響メタマテリアル技術を活用した防音シートで、従来製品に比べて10dB以上(同重量比較)の防音性能を発揮します。制振、防振機能を有するType-A、遮音機能を有するType-Bの2タイプの開発品があり、微細加工を必要とする半導体製造の各工程において課題となる騒音・振動課題を対象としたReso-Coreの各種防音機能について、当日はデモ装置を用いて分かり易くご説明いたします。
Reso-Core™ Type-A（制振・防振向け）：振動源もしくは振動伝搬経路に直接シートを貼付することで、ターゲット周波数帯での振動を低減します。
Reso-Core™ Type-B（遮音向け）：ターゲット周波数帯における空気伝搬音を遮音(反射)することで、外部からの騒音(音響加振源)影響を低減します。