はかる・みる・つなぐ
「はかる」で精密に、「みる」で正確に、「つなぐ」で未来へ。
【半導体製造装置ソリューション】
コーター・デベロッパー・エッチング・洗浄などの、国内外の優れた製造装置を取り揃え、お客様の課題に寄り添った最適なソリューションをご提案いたします。
【原料ガス制御ソリューション】
半導体業界納入実績5,000台以上、高精度な濃度モニターと供給制御は、お客様装置のプロセス再現性、歩留まり改善、コスト削減などに、大きく貢献いたします。
【半導体事業ソリューション】
当社は内製半導体生産工場の運営で得た知見やSEMIなど業界団体での活動実績をベースに、半導体製造にかかわるさまざまなサービスをお客様にご提供してまいりました。サービス一例として、デバイス検証試作、ミニマルファブを用いた高効率少量多条件試作、部屋・工場の環境構築、製造装置提案・導入、生産システム構築支援、製造装置メーカー公認保守メンテナンス、半導体人財育成・教育などの多岐にわたる実績がございます。これらのノウハウを総動員することで、お客様の半導体製造におけるデバイス試作から生産・ライフサイクルに至るまで、お困りごとを包括的に解決し、ご支援いたします。
【半導体デバイス製造体験・試作】
「横河ミニマルアプリケーションラボ」では、小型の半導体製造装置を活用した多様なソリューションをご提供しております。人財育成や技術研修、半導体デバイスの試作・開発など、お客様の課題に対して柔軟かつ的確なご提案を通じて、解決へと導きます。
【メーカー継承サービス】
製造メーカーがEOS宣言した装置を正式にビジネス移管を受けて保守サポートを行っております。
この保守サポート（メーカー継承サービス）は、対象装置のエンジニアスキル、技術情報、サプライヤー情報なども継承されます。当社が移管を受けた後の装置延命を中心とした保守サポートについてご説明いたします。
【環境ソリューション】
環境問題を意識したチラーをご提案いたします。
「フロンを使わないため環境に良い」、「ペルチェ素子を使った温度コントロールによる省エネ」、「可動部、交換部品が少ないため故障が少ない」と時代に合ったコンセプトで設計されております。
チラーの置き換えをご検討されていましたら、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
【設備監視ソリューション】
設備に関わる人・現場作業・管理業務の全てを対象とし、情報のデジタル化と連携により、設備管理のスマート化を実現します。Sushi Sensorで工程の環境を維持するユーティリティー設備の回転機器の振動や温度を傾向監視することにより、設備異常の兆候や予兆を事前に検知でき、故障を未然に防ぎます。
【装置オンラインシステム】
業界標準仕様であるSEMI Standard（GEM, GEM300, EDA I/F）に対応し、半導体製造装置と上位システム（HOST）のオンライン運用を容易に実現いたします。
CELLBrain：装置とHOSTシステムを接続するSEMI Standard準拠オンライン化テンプレート
EQBrain：HOSTシステムとのI/F、SEMI Standard準拠、装置オンライン化パッケージ
e-fabdoctor：総合稼働率向上を支援するEES (Equipment Engineering System)プラットフォーム（EDA I/F対応）
【ものづくり・アフターサービスソリューション】
設計・製造領域のエンジニアリング・チェーン・マネジメントをアフターサービスまで対象範囲を広げ、製品ライフサイクル全体の価値最大化を実現いたします。
設計から保守までの情報連携で、アフターサービス対応を迅速・正確化いたします。
サービス履歴を分析し、設計開発へのフィードバックによる継続的な製品進化と顧客満足度向上を実現いたします。