淀川ヒューテック

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今年は前工程から後工程の製品まで同ブースで出展致します。

見どころの一つは『ナノリンク』と呼ばれる次世代型薬液配管です。

『省スペース化』『低圧損性能向上』『パーティクル低減』を実現し、業界全体に新たなイノベーションを起こしたいと思います。

また、見どころの二つ目は、『PANEL FOUP』です。

より高いレベルでクリーン度が要求される次世代パッケージ基板の搬送プロセスに向けて、弊社が液晶パネル（ガラス基板）の搬送で培った豊富な技術を活かした製品となります。

ご来場の際はぜひ当社ブースへお立ち寄りください。

PANEL FOUP

FO-PLPキャリアガラス及び、次世代半導体パッケージ基板用 工程内搬送容器... More Info Less Info





次世代半導体パッケージ基板の工程内搬送には、よりシビアなパーティクル対策が必須となります。

従来、角型基板はオープン型のカセットラックで搬送する方式が主流でしたが、

より高いレベルのクリーン度が要求されるため、SEMI規格に適合した密閉型の工程内搬送容器を開発しました。

実機展示もございますので、ご来場の際はぜひ当社ブースへお立ち寄りください。


薬液配管「ナノリンクシステム」
斬新的なデザインの接続方式で、薬液配管に求められる「集積化・圧力損失の低減・パーティクル量の低減・液置換特性の向上」に貢献！... More Info Less Info



『ナノリンクシステム』は、フランジ面とフランジ面にシールリングを挟みこむだけという斬新なデザインで、配管同士・機器同士をダイレクトに接続することで省スペース化・集積化を実現した薬液配管です。

これまで幅広く使用されてきた継手には、
寸法が大きい、施工に手間がかかるといった設計時の問題点のほか、
施工後の管理・維持、再接続時の性能劣化、さらには種類が多く、
管理コストが膨らんでしまう、といった管理上の問題点がありました。

当システムは、これまでの薬液配管の課題、継手が抱える問題点を解決します。

【ナノリンクシステムだから実現できる4つの特長】
■シールリングを挟みクランプするだけの簡単接続
■さまざまな条件化でも高性能を発揮
■圧力損失が少なく、安定した流量を確保
■独自の特殊シール構造

CSタンク(PFAロトモールドタンク)
弊社独自の製造法により溶接継ぎ目がなく漏れない高純度薬液用タンク... More Info Less Info



CSタンクとは、PFAロトモールドタンクを内容器として装備し、
PVC/SUS外装材圧力保護用として外部に組み込んだ半導体／液晶製造用タンクです。
PFAとPTFEのみで構成され、回転成形技術を用いた溶接レスの高純度タンクです。
溶接レスで漏れの心配をなくし、またタンクノズル部がPTFEのため直接ネジ加工も可能です。
半導体業界等において高純度薬液の搬送や圧送供給用タンクとして使用されています。

【特長】
■安定した耐久性
　溶接継ぎ目がないため、漏れのリスクが低減
　かつ接液部の表面平滑度も良好なため液残りしにくい構造となっております。
■省スペース化に貢献
　ノズル部はPTFEを用いているため直接ネジ加工が行えます。
　またCSタンクと各メーカーのフッ素樹脂継ぎ手を直結することも可能です。
　※ノズル部、ナノリンクシステムも対応可能
■金型があれば円筒型や角形など様々な形状に成形可能

ナノリンクシステム対応溶着機
ナノリンクシステムT-Bondに特化し、機能性と操作性の向上により、精度の高い溶着を実現します。... More Info Less Info



薬液配管『ナノリンクシステム』の対応溶着機のご紹介！

任意の距離で接続する箇所において
既存の標準パーツに加え、チューブとナノリンクシステムの溶着を可能とし、スムーズな現場施工を実現します。

【特長】
■T-Bondに特化
　T-Bond：ナノリンクシステムとチューブの溶着品
　TBS（ストレート）／TBE（エルボ）とヨドフロンPFAチューブの溶着に特化。
■開口率80％以上を確保
　溶着部の内径ビードをコントロールしており、
　ヨドフロンPFAチューブの使用により開口率80％以上を確保します。
■高精度な施工が可能
　ダイヤル調節で溶着部の微調整が可能となり、芯ズレを防止します。
　施工によるバラツキが小さく、高精度な施工を可能とします。