リックス

・ウェハー回転時の真空チャック(吸着)用

・回転する研磨ヘッドへのエア、純水、スラリー供給用

・回転テーブル冷却時の冷却水の供給用

様々な用途で使用されており、オーダーメードも対応可能。製品詳細はこちらより。

・超音速2 流体ノズル技術を使用した特許構造(※)で光学部品(ガラス)、半導体ウエハなどに付着した微細物を洗浄、除去。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　(※)福岡県工業技術センター 機械電子研究所様 共同開発品。

・樹脂成型品のバリ除去。

・水と圧縮エアのみを使用するため、母材(ガラス、樹脂など)へのダメージ低減・ランニングコストの低減・環境負荷低減が実現可能。

・CO₂ジェットやドライアイスブラストの代替方法としてご提案。

・CO₂を使わず氷粒子を生成するため、環境にやさしい製品でランニングコスト削減可能。

製品詳細はこちらより。

「Tran AI」は、Trancom Technologyが開発した最先端のウエハ外観検査システムです。6～12インチまでのウエハに対応し、CMP工程やPR工程など各プロセスで発生する微細な欠陥を、AI技術により高精度かつ効率的に検出・分類します。

本システムは、インラインでの柔軟な設置が可能で、既存設備への後付けにも対応。最大120枚/時（WPH）の高速検査を実現し、稼働率は95%以上。検出精度は99%以上、誤検出率は1%未満という業界トップクラスの性能を誇ります。AIモデルは現場での使用中にも継続的に改善され、人によるレビューを経て常に最新の欠陥検出精度を維持。

さらに、直感的なユーザーインターフェースにより、NGウエハの検索、欠陥分類、レポート出力が簡単に行えます。導入実績も豊富で、CMP装置、ソーター、トラックシステムなど多様な装置に適応したカメラ設置が可能。オンライン／オフライン双方でのデータ閲覧やAIモデルの即時更新機能も備え、製造現場の省人化と品質安定に大きく貢献します。

■ プロセスフィルター

多様なプロセスへの適応可能なカートリッジフィルターや カプセルフィルターを中心に各種フィルターを取扱しています。 材質（PP、PE、PTFE、PVDF、オールフッ素、HDPE） ろ過精度（ナノ～ミクロンレベルまで）

■ エアフィルター（HEPA、ULPAなど）

クリーンルームなどで使用されるエアフィルターを 様々なサイズを取り扱っています。

国内外の様々なフィルターを扱っているので、コストや納期性能面で困りごとがあれば是非ご相談ください。製品詳細はこちらより。

■最短1週間で対応「RPS/クライオポンプ修理サービス」　製品詳細はこちらより

リモートプラズマソースやクライオポンプ、COMET製マッチング

ボックスの修理はお任せ！

■最短1週間で対応「ジャケットヒーター修理サービス」　製品詳細はこちらより

劣化ジャケットヒーターを高品質リペア！

コスト・納期の課題を解消し装置の安定稼働に貢献！

■CMPパッドコンディショナー「ダイヤモンドディスク」

特許技術で微粒ダイヤモンドの突出量をコントロール

均等なパッド粗さにより、優れた耐用期間と安定した研磨能力を提供

■スクラッチ低減に寄与「CMP用 リテーナリング」

PPSに代わる新素材3BMの取扱いあり

※メンブレン や その他樹脂部品も展示

■AMC対策で歩留まりを改善「ケミカルフィルター」　製品詳細はこちらより

多種ガスを一括除去！

モジュラー化学フィルターで省力・高効率の環境対策