レーザーテックは、光を用いた独自の最先端技術で検査・計測ソリューションを開発、提供しています。
当社ブースでは、Ｈigh NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300」およびEUVリソグラフィ全般の幅広いラインナップ、主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。