リニアモーターの新機軸「シャフトモーター」で生産性の向上・精度の向上・性能の向上に貢献します。
シャフトモーターの展示は、モーターの特色を活かした製品の一部…
♦シャフトモーター駆動ウエハー加工用高精度パラレル駆動XYステージ
♦高精度位置決めを真空で！…シャフトモーターの真空使用のご提案
♦高精度位置決めUVWステージ
♦圧力（荷重）制御用パラレルZ軸ユニット
♦高効率一軸４スライダー搭載ユニット
♦Z軸新機軸マグネットカウンターバランス
♦シャフトモーター基本ユニット
をご案内させて頂きます。ぜひ、お立ち寄りください。