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可変曲率静電チャック（A-VCESC）は、反り・ワープが大きいパワー半導体用ウエハや後工程インターポーザーを確実に保持できる新しい搬送・実装基盤です。静電吸着面自体の形状がハンドリング対象曲率に追従し、準静的な形状遷移を実現することで、位置決め精度±50 µm、ボウ／ワープ残差10 µm以下を狙います。従来困難だった難変形基板の安定搬送を可能にし、次世代プロセスの歩留向上と装置性能の最大化に直結します。