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フッ素ガス表面処理とは、基材表面にフッ素ガスを接触させて製品全ての面に形状を問わず、化学的に改質し、特異な表面特性を付与する技術です。この技術はコーティングのような技術とは異なり、基材表面とフッ素ガスの化学反応による改質のため、明確な改質層(界面)が存在せず、材料の物性を保ったまま改質層の割れや剥離がほとんど起きない表面になります。
この表面化学状態と処理の特徴から、本技術でなければ対応できない、競合技術が発生しない（し難い）製品・コスト・用途・効果等の市場領域が存在する唯一の技術であると考えています。当社は、研究～開発～処理受託・装置販売の全てを実施する国内唯一の独自技術を保有した会社です。
このフッ素ガス表面処理では様々な材料に適用でき、主にゴム、樹脂材料に対して処理をすることが可能です。
ゴム材料についてはほどんどのゴム製品に対して滑り性向上、粘着除去、固着防止といった効果を得ることができ、ゴム特有の伸縮性や弾性を維持したまま表面のみを改質することが可能です。
樹脂材料については主に親水性の向上、耐薬品性の向上といった効果を得ることができます。
その他にもCFRPなどのめっき処理の前処理としてめっきの密着性向上や、金属との反応によるフッ化金属の形成など様々な材料と反応を起こして改質することが可能な技術です。
シリコーンゴムやEPDM、FKMなど様々なゴムに適用可能です。
各種工程で発生するゴム表面の粘着・固着課題に対して有効な解決策を提供します。
・基板搬送治具のゴム部におけるワーク離れの改善
・ドライポンプや真空ポンプのゴムシールの固着防止、粘着除去
・真空チャンバー扉のゴムシールの固着防止
・エンドエフェクターのウエハ接触パッドの貼り付き防止
など
＜主な効果＞ ■フロロバリア：樹脂製品に対して耐薬品・耐溶媒性を付与します。 ■長期安定的な親水化：樹脂材料表面に親水性官能基を付与し、親水性の向上ができます。微細流路に対しても気相処理のため処理が可能です。
＜その他の特長＞ ■コーティングではないため剥がれず、異物（コンタミ）の発生がありません。 ■寸法や物性はほとんど変化しません。 ■処理効果の応用として接着性の向上なども検討可能です。 ■ほとんどの樹脂材料に適用可能ですが長期安定的に親水性が続く材料は一部限られます。