㈱P.R.A.は半導体、液晶製造に必要なプラズマを作る周辺装置を製作・修理する企業です。
本年度のSEMICON JAPANでは国内装置メーカー様への納入実績のある自社製品および弊社代理店(SEREN社)、協力会社の製品の展示を行います。
また、半導体製造装置エンドユーザー様向けの修理についてもご紹介いたしますのでプラズマのことでお困りのことがございましたら、
ぜひ、弊社ブースへお立ち寄りください!
装置メーカー様向け
【自社開発製品展示】
・半導体製造装置ESC用高圧電源
・マルチチャンネル対応位相シフター
・サーモアンプ基板
【SEREN社(代理店)/協力会社製品展示】
・SEREN社(米国)製 RF電源/RF Match
・KAITEK社(台湾)製 スパッタ用DC電源
半導体製造装置エンドユーザー様向け
・RF関連部品、ウエハ搬送用ロボット修理のご紹介