アドバンスドパッケージ分野の材料開発やプロセス開発に関わる最新の分析技術を紹介します。是非お気軽にお立ち寄りください。
ナノ粒子の汚染制御が求められる前工程半導体製造プロセスにおいて、
低発塵材料の選定や適切な洗浄法・洗浄剤の選定について分析面からサポートいたします。
後工程では急速に普及が進むAdvanced Packageの材料開発において、樹脂の構造解析や
物性評価といった各種評価技術をご紹介します。
また、全行程で要求される製造環境の評価について、汎用的な溶液捕集法（インピンジャー法）に変わって、
液体持ち込み懸念が解消でき航空輸送にも対応できる固体捕集法『BremS🄬』をご紹介します。