駿河精機

＜活用事例＞駿河精機 Laser Auto Collimator H410

◆◆皆様のこんな課題にお役立ていただけます！◆◆

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◆Smart LACの平面形状測定　対象物：ウエハ

[こんな課題を解決できます！]変位計＋ステージでウエハを測定した場合

・駆動ステージの振れの影響を受ける

・正確に測れない

⇓ 

★Smart LACを使用すると、駆動ステージの振れの影響を受けずに測定が可能！

スキャン計測時のステージ移動誤差を簡単に補償できます！

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◆Smart LACの平行度測定　対象物：ウエハ,チップ

[こんな課題を解決できます！]変位計＋ステージでウエハを測定した場合

・ウエハとチップそれぞれの角度演算に時間がかかる

・変位計複数台の使用でスペースが必要

⇓

★マウンター工程などでSmart LAC＋HT-20Tを使用することで、低コスト・省スペース・簡単に平行度測定可能！

Smart LAC＋対向ビーム分岐アダプタで同時に対向2面測定可能となります！

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◆Smart LACの角度数値管理　対象物：ウエハ

[こんな課題を解決できます！]

・試料とイオン出射部の角度が適正でない場合、高効率に深くイオン注入することができない

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★Smart LACを使用することでウエハの注入角度を数値管理可能！

角度を数値管理することにより、より深く注入することが可能になります！

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＜活用事例＞駿河精機 Laser Auto Collimator H410

◆◆皆様のこんな課題にお役立ていただけます！◆◆

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◆Smart LACの平行度測定　対象物：ウエハ,チップ

[こんな課題を解決できます！]変位計＋ステージでウエハを測定した場合

・ウエハとチップそれぞれの角度演算に時間がかかる

・変位計複数台の使用でスペースが必要

⇓

★マウンター工程などでSmart LAC＋HT-20Tを使用することで、低コスト・省スペース・簡単に平行度測定可能！

Smart LAC＋対向ビーム分岐アダプタで同時に対向2面測定可能となります！

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＜活用事例＞駿河精機 Laser Positioning Sensor H720

◆◆皆様のこんな課題にお役立ていただけます！◆◆

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◆Smart LPS 3Dの姿勢測定　対象物：ウエハ,マスク

[こんな課題を解決できます！]複数の変位計でウエハの変位と角度を測定した場合

・高コスト・広いスペースが必要

・微小ワークに対応が難しい

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★H720を使用すると、1台で変位と傾き角度を同時測定可能！

◆設置空間：約1/2◆照射面積：約１/600◆センサ調整時間：約1/3◆コスト：約1/2

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◆Smart LPS 3Dの姿勢測定　対象物：ウエハ,マスク

[こんな課題を解決できます！]変位計でワークを移動して複数点を測定した場合

・複数点測定で測定時間増加

・ワーク移動機構・制御でコスト増加

⇓ 

★H720を使用すると、1台で変位と傾き角度を同時測定可能！

1点で同時測定により、測定時間短縮

ワーク移動機構・制御不要でコスト削減

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◆Smart LPS 3Dの姿勢測定　対象物：フォトマスク

[こんな課題を解決できます！]搬送時のミス

・受け治具セット時にワークがずれてしまう

・ずれたことにより、次工程での不良・ミスが発生

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★H720を使用すると、ワークのずれを一発検出！

1点で角度・変位の同時測定により、

次工程への不良流出防止へつながります！

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