半導体工場におけるデジタル技術活用による業務変革の基盤となるシステムとして、設備計画や製品設計基幹情報整備による投資最適化、設備や検査装置のデータを統合した管理とリアルタイムモニタリングによる製品設備の状態把握、異常発生時の警告と復旧アクションの自働化など、工場のデジタルトランスフォーメーションが進んでおります。
シノプシスは2020・21年にフランスのQualtera社、韓国のBISTel社を買収し、以下のような領域の製品を展開しております。
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◆◆ Fab.da ◆◆
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FDC (Fault Detection & Classification), DFD(Dynamic Fault Detection)
装備エンジニアリングソリューションとしてリアルタイムで異常を検出します。
RMS(Recipe Management System)
Recipeボディの一元管理を実現します。
R2R(Run to Run Control)
プロセス制御によるバラツキ改善に寄与、過去の処理実行データと検査データを活用して次の処理実行の条件を調整(最適化)します。
eDataLyzer
製品テスト結果と欠陥管理Mapパターンの分析と分類(Map Analysis)、高度なデータマイニングによる原因工程特定(IntelliMine)、プロセスTraceデータのパラメータroot cause分析(Trace Analysis)を可能とするeDataLyzerと装置間、経時変化の差異を抽出するChamber matchingをご用意しております。
Fab.da Defect
欠陥データ解析に必要な機能を全て備えたパワフルな欠陥解析ツールです。
欠陥データや画像データのみならず、裏面検査データ、エッジ検査、テスト データ、ウェーハ装置の履歴データ、MES データ、および製造中に収集されるすべてのデータを収集し解析可能な歩留まり管理ソリューション。
インタラクティブな分析を自動化して、エンジニアとデータアナリストの生産性を向上させる統合された自動化機能。オペレーターのコストを削減し、スループットと分類率を高めることができるAI機械学習によるADC。
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◆◆ Silicon.da ◆◆
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EDA、テスト、IC製造ツールは、タイミング・パス、パワー・プロファイル、ダイの合否レポート、プロセス制御、検証カバレッジ・メトリクスなど、種類の異なる膨大なデータを収取し、生産性、PPA、パラメトリック/製造歩留まり向上のためにビッグデータやAIを活用するアナリティクス・ソリューションです。
また、設計対象へより深い洞察が可能となり、より効果的なデバッグと最適化ワークフローを実行可能にするツールです。
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◆◆ Avalon ◆◆
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Avalonソフトウェアシステムは、故障解析、設計デバッグ、低歩留まり解析のための次世代CADナビゲーション標準です。豊富なツールやネットワーク機能を備え、検査・試験・解析を迅速かつ正確に行うための包括的なシステムを提供します。さらに、使いやすいインターフェースと幅広い装置対応により、設計・半導体故障解析ラボの設備と人員の最適化を実現します。