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Festoは100周年！ これからもオートメーションの世界を先導していきます。
チャンバー周辺のスリットバルブ、ゲートバルブ等をソフト制御しパーティクルを抑制する比較デモ
半導体製造工程ごとにFestoが提供できるソリューションをパネルで展示
チラー用の流体を比例制御するための流体制御バルブの体験
パーティクルの放出/侵入を防止する新しい電動アクチュエータ
EFEMでの高速・安全なウエハ搬送と、アライナー, 真空プロセス制御を可能にする革新的空気圧テクノロジーを使ったウェハハンドリングシステム
これまで紹介してきた浮上搬送システムがさらに進化
縦方向への移動もできるようになりました。
空気圧シリンダを監視するMotion Insight Pneumatics(MIP)
電動アクチュエータシステムを監視するMotion Insight Electric(MIE)
いずれもAIを駆使したアプリで監視、摩耗とアノーマリをリアルタイムで検出
EFEMでの高速・安全なウエハ搬送と、アライナー, 真空プロセス制御を可能にする革新的空気圧テクノロジー
ピンリフトやマイクロポジショニングにより、精密な位置決めと繊細なバルブ制御を実現
チャンバー周辺のスリットバルブ、ゲートバルブ等をソフト制御しパーティクルも抑制する比較デモ
ピエゾテクノロジーの採用でソフトストップを実現し、エンドでの停止の衝撃を吸収しつつパーティクルの発生も抑制