セミコンジャパンへようこそ—プラズマ・サーモの革新技術をご覧ください！
1974年に設立されたPlasma-Therm社は、高度なプラズマ処理装置の世界的なメーカーであり、ワイヤレス通信、パワーデバイス、MEMS、フォトニクス、先端パッケージング、メモリ・ストレージ、研究開発をはじめとする半導体市場にエッチング、成膜技術、熱処理、プラズマダイシング技術を提供しています。Plasma-Therm社の製品は世界中で採用され、高付加価値、信頼性、ワールドワイドなサポートで高い評価を得ています。また、北米、欧州、アジア太平洋地域に販売・サービス拠点を置き、グローバルかつ多様な顧客ニーズに対応しています。
クラスターツール： https://www.plasmatherm.com ノン・クラスターツール： https://corial.plasmatherm.com/en
また、以下が各個別製品の概要とリンクとなります。更にご質問等がある際には、ブースに商談席を準備しておりますので、是非、お越しください。
◆ クラスターツールラインアップ
◆ ノン・クラスターツールラインアップ
- Vision™ : RIE, PECVD - サンプル手置きタイプのベーシックモデル。
- Shuttleline: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD - R&D向け幅広い用途に使用可。カスタマイズも対応。フォトマスクエッチング可。
- Takachi: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD - クライオ温度プロセス対応。
- Kayen HDRF™: プラズマフォトレジスト - 有機ポリマー除去、ボッシュプロセス後のスムーズィング。高密度ラジカルプロセスによる低ダメージ低温処理。
- PlasmaPOD: 卓上型エッチング・成膜装置
- Heatpulse: ランプ・アニーリング装置 - 既存装置向け、入手不可部品を刷新したCortexアップグレード準備中。
- Tegal : RIE装置- 弊社標準ソフトウェア - Cortex搭載モデル販売開始。
- Endeavor : PVD装置
- Eclipse : PVD装置
- TFE: バッチ式インラインPVD装置 - R＆D用途のITO成膜装置出荷いたしました。