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トルンプ

横浜市,  神奈川県 
Japan
https://www.trumpf.com
  • 小間番号W3612

トルンプ(TRUMPF)は、パワーエレクトロニクスおよびレーザソリューションのテクノロジーリーダーです。

弊社ブースでは、様々な半導体製造プロセスで活躍するプラズマ電源、およびレーザソリューションの最新情報を展示するとともに、お客様のご相談を承ります。実機製品や微細加工サンプル展示を通して、省エネ・省コスト・高スループットに貢献する高周波電源+整合器による技術ソリューション、HiPIMS向けパルス直流電源やレーザ技術によるTGV/TSV向けアプリケーションを提案いたします。

弊社ブースへのお立ち寄りを心よりお待ちしております。


 出展製品

  • プラズマ発生用 高周波電源 TruPlasma RF シリーズ 1000 (G3)
    半導体製造向けに最適な13.56 MHz 高周波電源の最新モデル...

  • 高い出力精度・効率・安定性、自動周波数チューニングや高度なパルス出力等により、要求の厳しいプロセスにおける高い生産性に貢献します。19インチハーフというコンパクトな設計も魅力です。
  • プラズマ発生用 パルス直流電源 TruPlasma Highpulse シリーズ 4000 (G2)
    HiPIMS(高出力インパルスマグネトロンスパッタリング)向け...

  • 最大8 MWピーク出力の大電力パルスにより、極めて精密な薄膜層成膜を可能にします。TGV内部成膜などの半導体アプリケーション、硬質膜成膜に最適です。