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菱光社

品川区,  東京都 
Japan
https://www.ryokosha.co.jp/
  • 小間番号E5922

ウェハレベルでの検査、測定に関する製品をご案内しております。

先端後工程向けフルパネル搬送システムの紹介をしております。

その他、自動外観検査装置などを紹介しております。

Categories

203 装置、検査及び測定
  • ウェーハ：基板測定/トポロジ/ナノトポグラフィ/平坦度測定/結晶方位
  • ライン幅：クリテカル寸法（CD)測定
  • 欠陥/パーテクル/バンプ/汚染検出、評価、検査
  • 測定器/ベンチトップテスト
  • 膜厚：厚さ/均一性測定/エリプソメーター
  • 表面測定
  • 顕微鏡：光学顕微鏡
  • 顕微鏡：共焦点走査型顕微鏡；3-Dビデオ顕微鏡
  • 顕微鏡：原子間力顕微鏡（AFM)
  • 顕微鏡：走査型電子顕微鏡（SEM)/集束イオンビーム/透過型電子顕微鏡（TEM)
    • 207 装置、プロセス
  • ウェーハ、レチクル、FPD搬送システム
  • エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
  • リソグラフィ；露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
    • 502 マテリアルハンドリングシステム
  • 搬送；マテリアルハンドリングシステム
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