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東レリサーチセンター

中央区,  東京都 
Japan
http://www.toray-research.co.jp
  • 小間番号E4908

東レリサーチセンター(TRC)は、「高度な技術で社会に貢献する」という基本理念に基づき、研究開発や生産技術における「原因解析」や「問題解決」に対して、分析技術や物性解析による技術支援を行ってまいりました。弊社ブースにおいて、最新で最高性能の設備、イノベーションにより生み出されるユニークな分析技術についてご紹介いたします。

Categories

203 装置、検査及び測定 / Inspection & Measurement Products
  • X線:XRF/3次元X線/レキシスシステム / X-ray; XRF; 3-D X-Ray; LEXES Systems
  • ウェーハ:基板測定/トポロジ/ナノトポグラフィ/平坦度測定/結晶方位 / Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation
  • ストレス:屈折率/反射率及び伝導率測定 / Stress; Refractive Index; Reflectivity & Conductivity Measurement
  • 分光計:フーリエ変換赤外分光(FTIR)/減衰全反射FTIR(ATR-FTIR)/オージェ電子(AES)/SIMS / Spectrometers; FTIR; ATR-FTIR; Auger Electron (AES); SIMS
  • 平坦性/ノッチ検出システム / Flat; Notch Finding System
  • 抵抗率測定/4端子法/シート抵抗 / Resistivity Measurement; 4 point probe; Sheet resistance
  • 欠陥/パーテクル/バンプ/汚染検出、評価、検査 / Defect; Particle; Bump; Contamination Detection, Review or Inspection
  • 熱検知/測定/分析 / Thermal Sensing, Measurement, Analysis
  • 膜厚:厚さ/均一性測定/エリプソメーター / Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer
  • 表面測定 / Overlay Measurement
  • 重量測定:精密スケール / Weight measurement; precision scales
  • 音響分光学/化学分析用電子分光法(ESCA)/超音波/超音波顕微鏡 / ESCA; Ultrasonic; Acoustical Microscopes
  • 顕微鏡:光学顕微鏡 / Microscopes: Optical Microscopes
  • 顕微鏡:共焦点走査型顕微鏡;3-Dビデオ顕微鏡 / Microscopes: Confocal Scanning Microscope; 3-D Video Microscopes
  • 顕微鏡:原子間力顕微鏡(AFM) / Microscopes: Atomic Force Microscopes (AFM)
  • 顕微鏡:走査型電子顕微鏡(SEM)/集束イオンビーム/透過型電子顕微鏡(TEM) / Microscopes: SEM; Focused Ion Beam (FIB), TEM