【特長】
・自社製Z・θ軸を搭載
回転軸と直線軸の同期制御が最適化済みで組付けにおける調整の手間不要
・パネルレベルパッケージ仕様にも対応
□600mmテーブル搭載、700mm以上のストローク対応、高耐荷重仕様などのカスタマイズ可能
・精密ステージの基本性能の追及
静荷重時における姿勢安定性と、0.1μm以下の繰り返し位置決め精度、1秒台のローリング・ピッチング精度、低ウェービングを全域で実現。
・極限まで抑えた機差
サブミクロン級の精度かつ、個体間の精度のばらつきを極限まで抑えたステージが品質安定に貢献