日本ブッシュ

平塚市, 神奈川県
Japan
http://www.busch.co.jp/

Pfeifferのソリューションをご提案！日本ブッシュのブースに是非お越しください。

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner（あなたのサブファブ・パートナー）」をテーマに SEMICON Japan 2025に出展。半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。

【見どころ】

【ハッピーアワーに参加します！】

18日16時～　ドイツワインをご用意して皆様をお待ちしております。是非お立ち寄りください

皆様のご来場をスタッフ一同お待ちしております。

リークディテクター「ASM310」

わずか21kg。手で持ち上げられるリークディテクター。... More Info Less Info

• 高性能
• 静音
• コンパクト

Technical Data
排気速度　18.1 m³/h
到達圧力 (ガスバラ閉時)　0.006 hPa(mbar)
到達圧力時の消費電力　235 W

ガス除害装置「CT-TW」

サーマル＆ウェット　ハイブリッド型... More Info Less Info

• 必用に応じ水素を注入し燃焼温度を高め、PFCガスを分解
• お客様要件に合わせ柔軟に設計
• 高アップタイム、優れたメンテナンス性

Technical Data
エネルギーソース　電気ヒーター（水素ブースター付き）
入口接続　最大4つ
SEMIスタンダード　SEMI S2 + S8

多段ルーツポンプ「UltiDry」

ハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ... More Info Less Info

•最高レベルの排気量
• 省エネ
• ハーシュプロセスでも長寿命
• 長いメンテナンス間隔
• コーティングの改良

Technical Data
公称排気速度　1800 m³/h
到達圧力　1.1·10-³ mbar
最大入口流量　160 slm

スクロール真空ポンプ「HiScroll 18」

ユーザーが簡単にチップシール交換可能。ロードロックなどに適したドライポンプ。... More Info Less Info

• 高性能

• 静音

• コンパクト

Technical Data

排気速度　 18.1 m³/h

到達圧力 (ガスバラ閉時)　0.006 hPa(mbar)

到達圧力時の消費電力　235 W

SEMI Japan Customer Service