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リアルタイム質量分析計の実機を展示いたします。 是非、ブースにお立ち寄りください！
世界の半導体製造現場で納入実績のある、Syft Technologies社製SIFT-MS（Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometer）の実機を展示いたします。
SIFT-MSは、クリーンルーム内のAMCs(Airborne Molecular Contaminants)やFOUPの内部汚染のリアルタイム分析が可能です。
Key Word: クリーンルーム内 AMC , FOUP , リアルタイム , HF HCl Ammonia 無機モニタリング
SIFT-MSはオンラインの直接ガス分析の利点に質量分析計の選択性と感度を兼ね備えた装置です。このユニークな特性により、リアルタイムで複数の化合物をpptレベルの低濃度で検出、定量することが可能です。AMC Explorerは可搬型のモデルで、移動しながらクリーンルーム内などの現場にて、あらゆる汚染物質のリアルタイム監視に有効です。CRDS型測定器などの分析装置も追加統合可能です。その他安全装置が充実した半導体向けモデルです。