ご訪問誠にありがとうございます。アキレス株式会社です。
当社では、半導体、ハードディスク、液晶など、あらゆる電子部品の生産工程に欠かせない静電気対策品や
包装資材ならびに当社独自の導電加工技術「STポリ」を用いた様々な導電性プラスチック製品を開発・提供しております。
今回は、半導体搬送にかかわる技術や製品のほか、帯電防止性に優れたPOフィルムやガラス基板へのめっき層形成プロセス、
衝撃・振動吸収素材など幅広くご紹介いたします。ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
《特徴》
・リングスペーサーを使うことで、ウエハー表面を非接触で搬送が可能
・導電性、コンパクトデザイン、SEMIスタンダード
・クリーン性(アウトガス、イオン、パーティクル)
・特殊なリング構造によりウエハーをしっかり固定 ※特許取得済み
《用途》
イメージセンサーやMEMSウエハーなど表面が繊細なウエハーの搬送
《性能》
《特長》
・優れた導電性- 表面抵抗値 フィルム面：1.3×10⁵Ω
・低電圧でガラスウエハーなどを静電チャックさせる事が可能
・帯電・耐薬品性- CVD、プラズマエッチングなど様々な半導体製造工程で使用可能
・基材に導電PPを使用した、安定した導電性能
・低パーティクル素材を使用
・チップトレーやエンボスキャリアへの詰替え工程を削減
NDシリーズ(横置き)：コンパクトにウエハーを搬送し輸送コストを削減
FVシリーズ(横置き)：非接触によりクリーンなウエハー搬送を実現
衝撃吸収・振動抑制性能に優れた超軟質ポリウレタン樹脂です。
液体原料のため、標準シート品から特注形状まで、お客様のご希望に合わせた生産が可能です。