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当社の展示ブースでは、前工程の重要なプロセスとなる露光装置のパネル・動画や当社装置で作成したサンプルを展示しております。
株式会社大日本科研では、露光装置の製造販売をメインに、設計・製作からメンテナンスまで一貫したサービスを行っております。創業からの露光装置販売台数も2600台以上となり、量よりも質に重きをおき、お客様のご要望に沿ってカスタマイズで露光装置を製造しておりますので、セラミックス、フイルム、金属向けの露光機も製造できます。露光工程に興味がある、または露光でお困りのお客様など、是非当社にお声がけください。
・最小線幅1μm/3μm/5μm/10μmのラインナップ
・Point Arrayによりなめらかな曲線、斜め線の描画が可能
・光源にはLD（375/405nm）を採用
・基板サイズなどご要望に応じてカスタマイズ可能
・非接触外形アライメントと露光方式による低パーティクル設計
・自由なサイズでタイトリング可能。2次元コード露光、周辺露光など、多彩なオプションをご用意
・オリフラ･ノッチを基準として、任意の角度にタイトリング
・ストライプ文字にも対応（ストライプ幅と角度を自由に調整可能）
・カセット内マッピング機構により、ウェハの抜けをオートで検知
・「固定文字＋インクリメント(デクリメント)文字」等、任意の文字入力が可能
・実験・研究用途に最適
・装置サイズをさらにコンパクトにしてリニューアル
・光源にはUV-LEDを搭載（有効露光範囲はφ4"）
・φ2"～300mmまで各種サイズに応じた装置のラインナップ
・独自の高速画像処理技術でウエハとマスクを高精度にアライメント
・オートマスクチェンジャを搭載し、マスクライブラリの対応可能
・非接触プリアライナを搭載し、基板を傷つけることなく高精度な送り込みを実現
・独自の光学設計により面内寸法ばらつきを最小化
・投影倍率可変機構を搭載