アルミナ・SiCといった搬送ハンドやステージ・トレイなどを中心としたファインセラミックス部品メーカーになります。
半導体製造装置向けに、搬送ハンドや真空チャックなど、セラミックス製品を展示しております。
下記にご紹介するような当社独自材料や技術も展示（パネル・実製品）しておりますので、是非ブースへお越しください。
ウエハー搬送ハンド
・空洞部分一体技術
特殊な技術により、SUS製ライナーの貼り合せ無しを実現。接着剤不使用。
アウトガス対策、糸くず対策、リーク対策、長寿命化に効果的です。
・反りウェハ搬送
吸着PAD3種類をラインナップ。はめ込み式・ネジ止め式・耐熱式と、それぞれ用途に合わせて対応いたします。
ブースでは反りウェハの吸着展示を行います。
・センサー搭載ハンド
あらゆる当社技術を用いて複数のセンサーをハンドに搭載可能です。
ブースでは空洞内部、側面加工、表面配線といった技術を用いてセンサーを搭載したハンドを展示しております。
・温調ハンド
ハンドの内部にウェハ吸着用とは別で、温度調整用の流路を形成したハンドを展示しております。
流体をハンド内部に循環させることで、ハンド自体の冷却や加熱が可能となります。
真空チャック
多孔質チャック：微細な孔で構成された多孔質体によりウェハに吸着痕が付きづらくなります。
穴・ピンチャック：無数なピン加工を表面に行い、ウェハを高精度で吸着いたします。静電気対策も可能です。
導電性、ヒーター機能、パーティクル対策表面処理などの技術と組み合わせることで、要求に合わせたチャックをご提案いたします。
310～600mm角の大型製品も製作可能なため、PLPやガラスコア基板用途でもご相談下さい。
静電気拡散アルミナ
高純度なアルミナの特性を保ったまま導電性を付与した特殊なアルミナです。
表面抵抗値制御や耐熱性・耐摩耗が高く、糸くず対策、アウトガス対策に効果的です。
実績：各工程の装置
低コンタミSiC（パーティクル・メタルコンタミ対策）
炭化ケイ素（SiC）は下記の特徴があります。
・耐熱温度約2000℃※環境による
・アルミナに比べ約2割ほど軽量
・耐薬品性が高い
従来パーティクルやメタルコンタミが多い材質ですが、
弊社では、特殊処理や専用洗浄で対策いたします。数ppb以下の数値実績が御座います。
実績：洗浄装置、コーターデベロッパー、検査装置など
大型セラミックス
長さ4000mmの大型アルミナセラミックスの焼成・加工が可能