ダルトン

★メリット

• 薬液を使わないため安全
• 低コスト
• 薬液の保管が不要
• 非接触のため消耗品無し(ブラシなどとの比較)
• 衝撃波対象物表面の水膜中を伝わり、穴や溝の中にも効果が及ぶ
• 原料が水だけなので環境に優しい

★用途例

• 付着した異物の除去
• 油成分の除去
• 糊などの接着剤の除去
• 金属リフトオフ(半導体、LEDなどの配線工程)
• 研磨後の洗浄(研磨剤、研磨くずの除去）
• 研磨布の再生(目詰まり解消)
• レジスト剥離
• メタルリフトオフ

★特長

• 循環方式採用
  1. 溜まり水・捨て水が極めて少ない
  2. 濃度の立ち上がりが早い(1分でオゾン水を生成)
  3. 洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定
• メタルフリーオゾン水
  1. 独自技術により精密洗浄に適したオゾン水を生成
• 幅広い用途に対応
  1. 濃度1~100ppm、流量1~50L/minの幅広い適応
  2. 発生器、混合器の個別利用可能

★用途

• レジスト残渣除去
• 表面保護酸化膜
• 有機物除去
• 金属不純物除去
• 有機膜エッチング
• 微粒子除去
• 配管洗浄
• 殺菌

★特長

装置内構成例：ローダー ⇒ ①ブラシ洗浄チャンバー ⇒ ②リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー

①ブラシ洗浄チャンバー：薬液シャワー ⇒ 両面ブラシ洗浄 ⇒ 純水リンス
②リンス乾燥チャンバー：2流体(N2+純水)洗浄 ⇒ MSシャワー(オプション) ⇒ N2ブロー乾燥

★特長

• 比類なき感度
  1. pptvレベルでのAMCの広範囲ガバレッジ
• 比類なき測定スピード
  1. 測定時間～30秒/FOUP
• AMC定量分析のためのFOUPハイスループットサンプリング
  1. 各FOUP30秒以内のサンプリングでAMCの状況を網羅的に提供
  2. 検出されたAMCの濃度に基づきFOUP次処理に適合・不適合を判断
  3. 特定FOUPサンプルでの測定は変動20%以下の高い再現性
• FOUPからのPFAS検出
  1. FOUPからのPFAS排出をリアルタイムでモニター可能
  2. 低pptvあるいはppqレベルのPFASを高精度で測定可能
  3. PFASの環境規制強化への対応には、新たなAMC検出が必要不可欠

★用途

• FOUP BOX洗浄前後の検査測定