伊藤忠マシンテクノスブースでは、前工程から後工程までの製造装置、各種検査装置を実機及びパネル展示します。
【製造装置】
１）熱処理装置（韓国 ZEUS社製） （パネル展示）
・パワー半導体向けのRTP（6"/8"）
・独自の技術による急速熱処理が可能 (≤ 200℃/秒 )
・ウエハのストレスを最小限にする両面加熱や、特許取得のランプ・アレイによる最適な温度制御機能があり、温度を均一に保つ性能に長けております。
・Si、SiC、GaN等パワー半導体向けに特化した処理装置
【検査・測定装置】
１）ウェハ膜厚・表面粗さ・ウェハ厚み・ウェハ反り・歪み計測装置 （ドイツ Sentronics社製） （実機展示）
・装置１台に８種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置
・高タクトを実現します。（膜厚１,０００点：１００WPHを実現）
・抜き取りから全数検査まで幅広い用途に適した装置
２）ウェハ欠陥検査装置 （アテル社製） （パネル展示）
・ウェハ薄型工程に適した、ウェハ裏面専用の自動欠陥検査装置（AOI装置）
・薄型ウェハ、反りウェハに適したマクロミクロ外観検査装置
・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能有り
・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能
３）マクロ欠陥検出センサー （オプティテック社製） （実機展示）
・目視検査では検出出来ないナノレベルの表面欠陥、目視検査の可視化が可能
・搬送ローダーとのドッキングが可能
４）E+H metrology GMBH (パネル＆実機展示）
・静電容量式ウェハー厚み測定
５）デフレクトメトリ式ウェハ検査・測定装置（フランス DIP View製）（実機展示）
・Bow、Warp、TTV等の測定が可能
・～12"ウェハに対応
・全面一括撮像により、10秒／ウェハの高速測定が可能
６）高速AFMシステム Alphacen 300 Drive (スイス：Nanosurf社製)
Nanosurf社は走査型プローブ顕微鏡(SPM)におけるリーディングカンパニーであり、最先端の計測ソリューションを提供いたします。
７）液中粒子測定・分析装置（台湾 FlowVIEW製）
・CMPスラリーや洗浄液等、液体中の粒子の数、形状、サイズ等を自動測定（活用例：CMPスラリー中の凝集粒子の検出により、スクラッチの発生予防）
・ナノレベルの粒子に対応
・検出した粒子は全て画像データにて出力可能
・AIによる粒子の識別や分類が可能
・CMP、洗浄、エッチング、メッキ等、あらゆるウェットプロセスに適用
【梱包装置】
１）自動梱包装置（台湾 Easy Field社製）（パネル展示）
・FOUPやFOSBの梱包を完全自動化した装置（8"/12"）
・梱包時にカセットの各種検査も可能
・ラベル印字／貼り付け、N2パージ対応
【ガラスコア製造装置】
1)ガラスコア基板用TGV(台湾:E&R社製)
レーザーソリューション マーキング ウエハ、パッケージ（パネル/シート/サブストレートチップ)など 様々な材料を取り扱った実績があり、トータルソリューションをカスタマイズして提供します。
例：マシニング加工、レーザー穴あけ、レーザー切断、レーザースクライビング、 レーザー溝入れソリューション等
プラズマソリューション プラズマクリーナー・ダイシング等
2)TGVスルーホールAOI検査装置（台湾：HuaYang社製）
TGVビアの形状と表面欠陥を、高分解能2D/2.5D光学とAIで高速・多項目に自動計測・判定するAOI検査装置
・計測範囲：Top/Waist/Bottom径、真円度・同心度、テーパ角、厚み・厚みムラ、残渣の有無を一括評価。
・光学性能：2D分解能約1.6 μm/px（DoF±91 μm）、2.5D分解能約2.4 μm（DoF±57 μm）；多角度撮像＋高速フォーカススタッキングでDOF課題を克服。
・AI検査：最小欠陥約4.8 μmを検出し、Particle/汚れ・Scratch・Edge chip・Crack/BreakをOK/NG/リワーク可で自動分類。
・タクト例：単一システム（180×180条件）で総計約190〜195秒（2D約108秒、2.5Dレビュー＋テーパ約15秒/点、画像スティッチング約5秒）。
・可視化・安定性：ヒートマップでNG分布を表示、繰返し測定の統計（平均・標準偏差・3σ・真円度）を出力しSPCに活用。
【材料製造装置】
1)アドバンスドパッケージングラミネータ（台湾：Group up社製）
CCL・ガラス基板に対応し、欠陥ゼロの高精度ラミネーションを全自動で実現
・CCL、ガラスのラミネーション対応可能
・しわ・気泡ゼロの高品質
・位置合わせ±1mmのみの誤差を実現可能
・SEMI/CE/UL適合
・EFEM対応＆SECS/GEM対応、全自動化対応可能
・0.2mmガラスも搬送可能
出展製品