シール方向切り替えゲートバルブ（特許取得済み）
片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。（現品展示）
無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプ
150℃、1.5～12時間のベーキングで水素（H2）や一酸化炭素（CO）を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。非蒸発型ゲッターポンプは、加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして最適です。
また、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。（参考出品）
昇降用溶接ベローズ
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。（現品展示）