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●金属以上に強くて軽い炭素繊維強化プラスチック（CFRP）を展示
軽量かつ高強度なCFRPは、半導体・FPD製造装置において金属代替部品として
多数の採用実績を誇ります。
今回の展示では、ウエハ搬送フィンガーや加工治具など、実機での採用例を交えて
CFRPの可能性をご紹介します。
●搬送性能を革新するCFRPアーム・フィンガー
ウエハ搬送用金属部品をCFRPに置き換えることで、軽量化と高制振性を両立。
ウエハの高速・安定搬送を可能にし、装置のサイクルタイム短縮に貢献します。
●高負荷加工に対応する保持具（キャリア）
従来のガラエポ製保持具（キャリア）では難しかった高負荷条件にも対応可能。
加工効率と耐久性を高め、加工現場の課題解決に寄与します。
製品例１：搬送性能を革新するCFRPアーム・フィンガー
ウエハ搬送用金属部品をCFRPに置き換えることで、軽量化と高制振性を両立。ウエハの高速かつ安定搬送を可能にし、装置のサイクルタイム短縮に貢献します。さらに、エネルギー効率の向上や装置寿命の延長といった副次的なメリットも期待できます。
製品例２：高負荷加工に対応する保持具（キャリア）
従来のガラエポ製保持具（キャリア）では難しかった高負荷条件にも対応可能。加工効率と耐久性を高め、加工現場の課題解決に寄与します。