当展示会では、半導体製造工程（スパッタリング・エッチング・露光・イオン注入・検査工程等）に必要な「真空」をつくりだすターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。その中でも当社主力製品であるコントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine2200M-B、磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine3400M-Rと省エネ型ドライ真空ポンプER100D等、真空環境づくりに役立つ当社の豊富なラインアップをご紹介いたします
皆様のご来場を心よりお待ちしております。