本出展では人工脊髄チップを搭載したミリメートルサイズの昆虫型ロボットや、IoTデバイスへの電源供給を目的としたMEMSタービン発電機、電子素子の放熱を目的としたMEMSベーパーチャンバーといった、シリコンの微細加工技術であるＭＥＭＳを活用した小型デバイスの展示を行っています。昆虫型ロボットでは生物の脳におけるニューロンの働きを模倣したＩＣチップを制御システムとして用い、またミリメートルサイズの体で歩行動作を実現するために小型アクチュエータの開発も行っています。MEMSタービン発電機では、オーガニックランキンサイクル発電機を手のひらサイズで実現するべく、MEMS技術と、積層セラミック技術を組み合わせて発電を行います。ベーパーチャンバーは従来の金属加工ではなくMEMS技術で主に使用されるシリコン材料と低沸点媒体を組合わせて作製しています。顕微鏡でみる小型ロボットやMEMSデバイスをぜひ見に来てください。