ウェハ搬送ロボットで世界をリードする川崎重工が未来に向けたベストソリューションを提供いたします。
川崎重工のウェハ搬送ロボットは、世界トップシェアを誇る高性能機種です。独自の駆動機構により、高精度かつ高剛性な動作を実現し、半導体製造現場における安定した搬送を支えています。本製品はSEMI-F47およびSEMI-S2規格に準拠しており、走行装置を必要とせずに最大4 FOUPまでのEFEM（Equipment Front End Module）に対応可能です。さらに、リングフレームや基板搬送にも柔軟に対応し、多様な製造工程において高い汎用性を発揮します。
https://kawasakirobotics.com/jp/robots-category/wafer/
NTJ11は、Z軸ストローク長が最大470mmまで対応しており、上下方向の搬送にも柔軟に対応可能です。シングルハンド構成により、装置のコンパクト化と制御の簡素化を両立。
エッジグリップ方式は、ウェハの端部を把持することで、表面への接触を避け、クリーンな搬送環境を維持します。
対応FOUP数は最大3基で、複数の搬送先を持つ装置構成にも適応可能です。これらの特長により、NTJ11は高スループットかつ高信頼性を求められる半導体製造現場に最適な搬送ソリューションとなっています。