ウェハ搬送ロボットで世界をリードする川崎重工が未来に向けたベストソリューションを提供いたします。
世界トップシェアを誇る川崎重工のウェハ搬送ロボット。
独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現しています。
SEMI-F47規格（半導体装置の電圧降下規格）とSEMI-S2規格（半導体製造装置の安全ガイドライン）に対応しています。
リングフレームや基板搬送にも対応できます。
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https://kawasakirobotics.com/jp/robots-category/wafer/