Wooptixは、半導体ウェーハ計測技術の革新をリードする企業で、業界最高水準の横方向分解能を実現した、最速かつ高精度なインライン計測ソリューションを提供しています。同社独自の技術である波面位相イメージング(WFPI)は、適応光学の研究から生まれたもので、この技術を活用することで、シリコンウェーハ全体の形状、ナノトポグラフィー、表面粗さを1枚の画像で正確に測定することが可能です。現在、アジア、ヨーロッパ、北米の顧客拠点でソリューションを積極的に展開しています。Wooptixの拠点は、スペインのテネリフェ島とマドリード、そしてアメリカのサンフランシスコに構えています。
Wooptix is a semiconductor wafer metrology innovator that provides the fastest, most accurate in-line measurements with the highest lateral resolution. Through its use of wavefront phase imaging (WFPI), a proprietary technique derived from research in adaptive optics, its systems measure the shape, nanotopography and roughness of the entire silicon wafer in a single shot. It is actively deploying solutions at various customer sites across Asia, Europe and North America.
Together with their resistance to vibrations and ease of adapting to the user’s needs, they are valuable systems for measuring the wafer shape and nanotopography in a single shot.