Eulitha社ブースへようこそ。
Eulitha社の独自のナノリソグラフィー技術と、同社のツールで作られたウェーブガイドを内蔵した印象的な AR グラスを紹介します。
ナノスケール露光装置の紹介：フォトニックパターンのナノリソグラフィーツール
・ PhableR ： Ｒ＆Ｄ、少量生産用
・ PhableX ： 量産用
・ PhableS ： ステップ アンド リピート方式による大面積対応、量産用
ウェーブガイドなどのグレーチングパターンなど周期的なナノスケールの露光が可能。量産用カセットオペレーション自動機。
UV光源モデル：125nm～
DUV光源モデル：65nm～
ウェーブガイドなどのグレーチングパターンなど周期的なナノスケールの露光が可能。
量産用カセットオペレーション自動機。
ステップアンドリピート方式による大面積対応。