コフロック

京田辺市草内当ノ木１－３, 京都府
Japan
https://www.kofloc.co.jp

小間番号E5702

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出展製品

弊社は流量計メーカーとして、お客様のニーズに合わせた一品一葉のものづくりで、高精度な流体計測制御機器を提供しています。

今年のセミコンでは、CVD等に適したPI機能搭載メタルシールマスフローコントローラ「ST-500」、洗浄やエッチング工程に適した温度補正付小型カルマン渦流量計「FML-300」など半導体製造プロセス向けの流体計測制御機器を中心にご紹介いたします。

出展製品

MODEL ST-500 SERIES

PIマスフローコントローラ　■PI … Pressure Insensitive（ST-500のみ）圧力変動に対し安定した流量制御が可能　■ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応　■DeviceNet®、EtherCAT®、RS485（ST-550のみ）通信対応　■ガスパネルマウント、Wシール/Cシール継手対応　■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲応答1sec以内　■専用アプリによるマルチレンジ機能(30~100%F.S.)... More Info Less Info

■対象流体：気体　
■最大流量：気体　10SCCM～30SLM
■精度：±1%S.P.(10～100%F.S.)
　　　　±0.1%F.S.(2～10%F.S.)

・PI … Pressure Insensitive（ST-500のみ）
　圧力変動に対し安定した流量制御が可能
・ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、
　EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
・DeviceNet®、EtherCAT®、RS485（ST-550のみ）通信対応
・ガスパネルマウント、Wシール/Cシール継手対応
・S.P.精度で高精度な計測制御が可能、
　全流量制御範囲応答1sec以内
・専用アプリによるマルチレンジ機能(30~100%F.S.)

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MODEL FML-300 SERIES

温度補正付小型カルマン渦流量計　■温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減　■接液部New PFA(オーリングレス)　■コンパクト設計　■幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから25～250L/minまで)　■IP65相当の防水性... More Info Less Info

■対象流体：液体　水、純水、薬液
■最大流量：液体　2.5～250L/min
■精度：±2～3%F.S.

・温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減
・接液部New PFA(オーリングレス)
・コンパクト設計
・幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから25～250L/minまで)
・IP65相当の防水性
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MODEL 8700 SERIES

表示器付マスフローコントローラ/メータ　■幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)　■表示器一体型で各種機能使用可能、瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか　■RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)... More Info Less Info